簡易檢索 / 檢索結果

  • 檢索結果:共1筆資料 檢索策略: "王國雄".ccommittee (精準) and ckeyword.raw="無花紋研磨墊"


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    研磨液體積濃度變化對無花紋研磨墊化學機械拋光矽晶圓研磨移除深度之理論模擬模式及迴歸模式分析
    • 機械工程系 /108/ 碩士
    • 研究生: 吳宗儒 指導教授: 林榮慶
    • 本研究先建立室溫下不同體積濃度之無花紋研磨墊化學機械拋光矽晶圓的研磨移除深度理論模擬模式。我們將矽晶圓浸泡在常溫下不同體積濃度研磨液後,接著進行原子力顯微鏡實驗,計算得出浸泡室溫不同體積濃度…
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    • 全文公開日期 2025/08/10 (校內網路)
    • 全文公開日期 本全文未授權公開 (校外網路)
    • 全文公開日期 本全文未授權公開 (國家圖書館:臺灣博碩士論文系統)
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